Один из нескольких проектов зеленоградского кластера «Техноюнити» готовится к реализации в ближайшие годы — к 2017 году в Зеленограде будет создано новое производство микросхем при участии «Технологического центра» МИЭТ и НИИ «Субмикрон». Это позволит перенести в Россию современные технологии 3D-микросборки и использовать их при выпуске аппаратуры для аэрокосмической отрасли.

https://www.zelenograd.ru/news/view.php3?id=13138